Измерение шероховатости

Более тонкое и точное измерение шероховатости поверхностей в пределах от 9 до 14-го классов можно осуществлять с помощью спектрального разложения лучей света или микроинтерференционных методов, разработанных В. П. Линником. Смысл этого метода заключается в сравнении двух потоков волн светового пучка: пучка света, отраженного от плоского зеркала /, не имеющего неровностей, и пучка света, отраженного от исследуемой поверхности 6. Фронт потока волны первого пучка отражения остается плоским, а поток волны второго пучка представляет точную копию неровностей на поверхности. Микропрофиль поверхности наблюдается через окуляр в виде интерференционных полос, изгиб которых измеряется с помощью окулярного микрометра.
Расстояние между соседними интерференционными полосами соответствует длине полуволны белого света (0,275 мкм) и служит масштабом для измерения.
В интерферометре Линника (в микроскопах МИИ1, МИИ4) разделение светового пучка на две равные части осуществляется разделительной пластиной 4 или призмой, после чего пучки направляются микрообъективами 5 и 2. Пластинка 3 является компенсирующей. Типичная интерференционная картина, наблюдаемая при измерении шероховатости поверхности.